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【摘 要】 声表面波器件的制造关键在于如何制作叉指换能器,特别对于GHz频率以上的器件,亚微米线宽如何控制是声表器件能否制作成功的关键。本文提供了其制作工艺流程及要点。 关键词:声表面波器件,叉指换能器,工艺1 引 言 ......