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微加工已经成为一项关键技术传感器的小型化。能够通过使用标准的半导体制造技术,减少传感元件的尺寸允许显着减小尺寸。积分信号处理沿着感测元件进一步增强了机会,以减少系统的大小,省去了额外的引脚链接到外部设备。的微加工工......