首页->激光直写
激光直写技术是一种近年来应用广泛的超精密加工技术。该技术是一种利用强度可变的激光束,在基片表面实施有规则的高精度扫描。在扫描过程中,光刻基片随载物平台而运动。因此影响光刻元件的质量取决于载物平台的定位精度以及运动的稳......