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洁净室亦被称为无尘室或者清净室。主要是将一定空间范围内空气中的微粒、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、静电噪音等控制在一定要求范围内的房屋设施。通常用于高精密器械、微电子、......
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