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近年来,MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、军事等领域中都有着十分广阔的应用前景,同时人体姿态检测和信息融合技术在......