洁净室中的传感器解决方案

洁净室亦被称为无尘室或者清净室。主要是将一定空间范围内空气中的微粒、有害气体、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、静电噪音等控制在一定要求范围内的房屋设施。通常用于高精密器械、微电子、高纯度化学、光磁产品及生物医学等对生产操作环境要求较高的应用中。

为了保持洁净室内的洁净度除了需要不断通入净化过的空气外，还需要对通风和排风(回风)的速度加以控制，并通过压力传感器对室内的压力进行测量，保持一定的正压范围。

对于洁净室来说足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气，一般来说洁净度要求较高的洁净室通风换气的频率也相对较高。但不宜过高因为通风速率过高易造成紊流产生，这对洁净室是很不利的。因此，可以利用空气流量传感器对通风的速率进行检测，确保空气流速的正常。

为保证洁净室不受或少受污染，以维持设计洁净等级，使室内保持一定的正压是必不可少的条件。洁净室的正压值是指门窗全部关闭的状态下，室内静压大于室外静压的数值，从而形成一定的静压差。它主要是通过净化送风系统量大于排风量的方法达到的。洁净室的静压差可以通过微压压力传感器来进行测量，并通过空气流量传感器对通风和出风的速率进行控制，以维持静压差始终处在合适的范围之内。一般来说，不同等级的洁净室以及洁净室和非洁净室之间的静压差不应小于5Pa，洁净区与室外的静压差不应小于10Pa。主要是压差偏低则洁净室抑制通过窗缝污染室内的能力变差。但静压差也不是越大越好，较大的静压差就意味着需要增大通风量，势必消耗更多的能源，同时还可能造成紊流的产生及门框开闭困难。

霍尼韦尔DCXL系列超低压压力传感器，采用了能减少输出偏置或共模误差的专利技术，可以显著地消除由温度、长时间漂移和位置敏感等引起的输出偏置误差。DCXL01DN压力传感器使用了一种特别的硅敏感元件，这种元件具有特殊的压力集中增强结构，提供了高稳定的与应力成正比的线性输出。产品进行了零点漂移、满量程灵敏度，并进行了温度补偿，提升了流体压力测量的精度。