VS9000 电容式MEMS加速度传感器

方案概述

Colibrys VS9000加速度计是一种新的超小型高端产品，致力于在振动传感领域的应用。大带宽，高耐用度和低功耗的设计以及优秀的零位稳定性，这种结合保证了 VS9000 MEMS 加速度传感器卓越的可靠性。Colibrys VS9000 系列是一个电容式 MEMS 加速度计，它是由一个体硅微加工工艺制成的硅表头元件，一个低功耗 ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微处理器以及一个温度传感器等元件组成。

功能定义及性能指标

超小型 LCC20 封装(8.9mm x 8.9mm)

±2g 到 ±200g全部测量范围

大带宽(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%)

优秀的长期稳定性

适应恶劣环境（冲击，振动，温度）

低功率模拟电压输出

稳压保护

配有温度传感器

方案优势

VS1000的应用场景扩展到了更广泛的工业领域，而先前的主流技术为压电(PE)及压阻(PR)式加速度传感器。可变电容传感器的优势，即VS1000使用的技术，包括在全温、全频率范围的长期稳定性及指标重复性，特别其优异的低频响应特征。通过近十年来对现有应用的反馈及提升，Colibrys的振动传感器具有优异的抗冲击特性，甚至抗多次重复冲击的特性。此传感器还包括了智能的内置自检测功能，此功能对Colibrys的用户，尤其是安全第一的在线监测应用来说非常重要。