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广泛用于工业设备和汽车中的角速度传感器

作者:angelazhang时间:2015-10-28

采用QMEMS技术,同时确保体积、性能优势

EPSON是目前世界最大的晶体制造商,是唯一一个可以制造晶体和芯片的厂商。EPSON的角速度传感器采用的QMEMS技术,即采用了晶体与芯片的立体加工工艺生产的角速度传感器。EPSON的角速度传感器应用在车载导航,游戏手柄,空中鼠标,遥控飞机,数码相机防抖,机器人,跑步鞋等。


QMEMS技术是指具有高稳定、高精度等优越性能的石英材料(QUARTZ)和(MEMS)组合而成的词语。与以硅为材料的MEMS相对应,以石英为原料进行精微加工(光刻)并可以提供的小型化、高性能的晶体元器件被称为QMEMS。这种工艺生产的角速度传感器及其他晶体产品,具有封装小,可靠性高,高稳定性等优势。

EPSON角速度传感器以两轴为主,以XV4001BC 为例,如图所示:



当角速度传感器相对稳定没有旋转时,传感器的四端相对于中心的数据作为参考值,当发生旋转时,四端相对于中心,会出现不同的偏转数值,根据此偏转,由处理器计算出角度的数值通过通信接口输出,用户直接会得到通信接口送出来的角度数值,此数值在XV4001中为数字信号。


目前,EPSON的角速度传感器有数字输出和模拟输出两种类型,电压范围有3V、3.3V和5V电压可选,带宽在10Hz内,50Hz内和200Hz内,测试范围,从60-1500内。有通过AECQ100认证的汽车等级和工业等级两种温度适用范围。



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