集成传感器的概述

集成传感器(integrated sensor)是在半导体集成技术、分子合成技术、微电子技术及计算机技术等基础上发展起来的.集成传感器的种类很多，可大致归为以下两种类型:传感器本身的集成化和传感器与后续电路的集成化。

1.传感器本身的集成化

传感器木身的集成化可分为两种情况:

一种是具有同样功能的传感器的集成化。如电荷祸合器件(CCD)就是在一块半导体芯片上集成了许多光电传感器的集成化器件.又如将多个相同的光敏二极骨“集成”在同一芯片上成为摄像仪中的光敏器件。这种集成化的特点是把对一个点的测量扩展成对一条线、一个平面或对空间的测量。

另一种是不同功能传感器的集成化，使一个传感器具有多种功能。如把温度和湿度传感器集成在一起，可同时枪测温度和湿度。

2.传感器与后续电路的集成化

此类集成化也可分为两种情况

一种是传感器和输出电路的染成化。如光电传感器和其放大电路集成在一起，可减少干扰，提高灵敏度;在硅片上制造薄膜传感器及放大器而构成的加速度传感器等。

另一种是将传感器和后续数据处理电路集成在一起。如微机化的传感器.既具备传感器的功能，又具有记忆及运算的功能、信息处理及非线性滤波的功能、多重输人系统的构成与同一数据的周期近复处理功能，以及系统的调节与控制的功能等。因此，这种传感器是一种多功能化的传感器。

总的来说，集成传感器具有如下特点:

(1)成木低。由于集成电路工艺已十分完善，利用这种技术可降低产品的成本。

(2)小型化。以硅技术为纂础，将多个相同或不同的器件集成在一起，使许多引线变为芯片的内部连线，可使体积大大缩小。

(3)性能改善。集成传感器可以把温度补偿、信号放大及处理电路做在同一块芯片上，这样就使环境沮度变化和电源波动等外界因素对输出信号的影响减至最小。

(4)可靠性提高.由于集成化的结果，使外引线变为内引线，器件的焊点大大减少，可靠性得以提高。

(5)接口灵活性增加。可在传感器芯片上设计阻抗变换电路、电平变换电路等，以适应不同的要求，便于与外电路连接。