晶闸管旁路灭弧原理图

图 晶闸管旁路灭弧原理图

较大功率（100kW以上）的离子渗氮设备通常采用晶闸管旁路灭弧，其电路如图所示。电路的阴阳极间并联了一个晶闸管V，在辉光放电过渡到弧光放电前，电源对电容器C1经电阻R1充电到电源电压，当弧光放电时，阴阳极间电压突然下降，电容C1放电，脉冲变压器TM原、副边中产生脉冲电流，使V触发导通，阴阳极间短路，因此弧光熄灭。此时LC构成振荡回路，当流过V的放电电流为零时（电压已反向），V即自动关断。电源经限流电阻R、滤波电感L0重新对电容器C1充电至辉光放电所需的电压，而重新起辉。由于V的导通时间只需十几个μs，故弧光放电只经很短时间即被旁路，弧光放电强度大为减弱。